38
views
0
recommends
+1 Recommend
1 collections
    0
    shares
      • Record: found
      • Abstract: found
      • Article: found
      Is Open Access

      XANES and EXAFS study of the TiN Thin films grown by the pulsed DC sputtering technique assisted by balanced magnetron

      research-article

      Read this article at

      Bookmark
          There is no author summary for this article yet. Authors can add summaries to their articles on ScienceOpen to make them more accessible to a non-specialist audience.

          Abstract

          A series of different Ti x Ny thin films were grown by the DC-sputtering technique. The purpose for this work was to study through XAS interpretation, how the different amounts of N2 during growing thin TiN thin films, affects the stoichiometry of the TiN deposited. Also the results obtained determinate how to interpret the spectra to see the different valences of Ti in TiN, are working. The results were supported with the EXAFS and XANES analysis. This work concludes the adequated conditions for this experiment to obtain TiN as thin film by the DC sputtering assited by pulsed balanced magnetron at room temperature and aconcludes which XANES spectra are the finger print for valences of Ti.

          Translated abstract

          Se creció una serie de películas delgadas de Ti x Ny mediante la técnica de DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado. El propósito del trabajo fue el de estudiar, mediante la interpretación de XAS, como las diferentes cantidades de nitrógeno suministrado durante el crecimiento de las películas delgadas de TiN, afecta la estequiometría del TiN depositado. También los resultados obtenidos determinan como se interpretan los espectros para observar las diferentes valencias del Ti en el TiN. Los resultados fueron obtenidos mediante el análisis XANES y EXAFS. Este trabajo concluye las condiciones adecuadas para este experimento y obtener TiN como película delgada mediante DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado a temperatura ambiente y establece cual de de los espectros de XANES es la huella digital de las valencias de TiN.

          Related collections

          Most cited references31

          • Record: found
          • Abstract: not found
          • Book: not found

          Introduction to Solid State Physics

            Bookmark
            • Record: found
            • Abstract: not found
            • Book: not found

            Handbook of X-ray photoelectron spectroscopy

              Bookmark
              • Record: found
              • Abstract: not found
              • Book: not found

              Handbook of X‐ray Photoelectrom Spectroscopy

                Bookmark

                Author and article information

                Journal
                rmf
                Revista mexicana de física
                Rev. mex. fis.
                Sociedad Mexicana de Física (México, DF, Mexico )
                0035-001X
                February 2007
                : 53
                : suppl 3
                : 78-81
                Affiliations
                [03] Navojoa Sonora orgnameUniversidad de Sonora orgdiv1Unidad Regional Sur Lázaro Cardenas
                [01] Son orgnameUniversidad de Sonora orgdiv1Departamento de Física México
                [02] Chihuahua Chih orgnameComplejo Industrial Chihuahua orgdiv1Centro de Investigación en Materiales Avanzados México
                Article
                S0035-001X2007000900019 S0035-001X(07)05300000019
                ff9bb665-f65a-4210-b008-eecf65d58f81

                This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

                History
                : 02 March 2006
                : 18 August 2006
                Page count
                Figures: 0, Tables: 0, Equations: 0, References: 25, Pages: 4
                Product

                SciELO Mexico


                thin films,Nitruration,Películas delgadas,TiN,PLD,nitruración
                thin films, Nitruration, Películas delgadas, TiN, PLD, nitruración

                Comments

                Comment on this article